高精度陶瓷薄膜真空計是高精度溫度補償型真空計設計，主要用于在嚴酷的制造工具環境中，具有穩定的性能。先進的數字電子學提高真空計的性能和提供容易操作的特點如一鍵調零的功能和設點調整；抗腐蝕的超純陶瓷傳感器提供零點穩定性，以及引起能達到數百萬次壓力循環包括大氣沖擊的長的使用壽命。*的傳感器屏蔽保護真空計防止過程污染；經久耐用的機械結構和數字電子學提高EMC兼容性，長期穩定性和溫度補償能力。
它作為一種真空度傳感器在眾多領域應用普遍，并需要進行定期校準。而真空計校準裝置是包含了真空標準器、真空泵、真空閥門及連接管路在內的一整套測量系統，一般體積較大，不便移動，多在實驗室內固定使用?，F有的真空計校準方式大多是將現場使用的真空計拆下送檢。
為滿足現場校準的需求，需要解決以下幾方面的問題：
?。?）減小相關部件的尺寸，使真空計校準裝置便于攜帶。
?。?）采用數控和電動閥門，提高氣體流量調節的精密度。
?。?）改進真空度控制方式，提高真空度控制精度和穩定性。
高精度陶瓷薄膜真空計應用：
半導體制造設備用于刻蝕,CVD,PVD,ALD
數據存儲和OLED,LCD制造設備
工業真空設備
混氣實驗設備
一般高精度壓力測量
